제품소개

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DISPLAY

TCU
(Temperature Control Unit)
    Abstract / Feature
  • LCD 제조 공정 중 전 공정 설비의 일부로서 노광 설비 투입 전에 불규칙한 기판의 온도를 일정하게 정밀 제어하는 장비 
Items Specification
Temp Range20℃ ~ 25℃
Temp Control Accuracy±0.1 ℃
Control temperature (on the Glass)23℃, ±0.2 ℃
Air Cleanness10ea/ft3 (0.3 μm)
Air Flow Rate90 ~ 110㎥/min
X
사업부 담당업무 이름 전화번호 email
본사 장비사업부 대표번호 - 041-589-1500 -
영업 - 041-589-1607 -
인사 - 041-583-1522 -
중국법인 총괄 정창용 86-0512-6292-0930 cy.jung@bhste.com
본사 장비사업부
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-
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-
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-
중국법인
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