제품소개

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반도체

TCU
(Temperature Control Unit)
    Abstract / Feature
  • LCD 제조 공정 중 전 공정 설비의 일부로서 노광 설비 투입
  • 전에 불규칙한 기판의 온도를 일정하게 정밀 제어하는 장비
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Items Specification
Temp RangeTemp Control Accuracy
20℃ ~ 25℃±0.1 ℃