제품소개
- HOME
- 제품소개
- 반도체
반도체
TCU
(Temperature Control Unit)
- LCD 제조 공정 중 전 공정 설비의 일부로서 노광 설비 투입
- 전에 불규칙한 기판의 온도를 일정하게 정밀 제어하는 장비
Abstract / Feature
| Items | Specification |
|---|---|
| Temp Range | Temp Control Accuracy |
| 20℃ ~ 25℃ | ±0.1 ℃ |
